真空鍍膜機是目前製作真空條件（jiàn）應用最為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電氣控製櫃三大工作原理。

真空主題--真空腔根據加工產品要求（qiú）的各異，真空腔的大小（xiǎo）也不一樣，目前應用最多的有直徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體由不鏽鋼材料製作（zuò），要求不生鏽、堅實等（děng），真空腔各部（bù）分有鏈（liàn）接閥，用來鏈接各抽氣泵浦。

輔（fǔ）助抽（chōu）氣係統：排氣係統為鍍膜機真空係統的（de）重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油（yóu）擴散泵三大部分組成，此排氣係統采用“擴散泵+機（jī）械泵+羅（luó）茨（cí）泵+低溫冷（lěng）阱（jǐng）+polycold組（zǔ）成”。

排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右（yòu）的（de）低真空狀態，為擴散（sàn）泵後續抽真空提供前提，之後當擴散泵抽真（zhēn）空的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，已這樣的方式（shì）完成抽氣動作。

 機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵，它是用油（yóu）來保持密封效果並依靠機械（xiè）的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內（nèi）氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。