隨著科技的發展，真空鍍膜工藝技術（shù）已經在（zài）：太陽能集熱（rè）管（guǎn）、太（tài）陽能電池、磁帶、光盤、半導體器件、光學器件、光電（diàn）顯示器件、玻璃、工模（mó）具和切削刀具的超（chāo）硬塗層、汽（qì）輪機葉片的抗熱塗層、五金製品、手表、手機和眼鏡的裝飾、塑料製品金屬（shǔ）化、包裝用塑料薄膜等多個領域廣泛（fàn）應用。

真（zhēn）空（kōng）鍍膜設備有多種規格的單室機和多室連續機。工藝方法上可分為：真空蒸鍍、離子鍍（dù）、濺射鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。真空鍍（dù）膜設備的運行性能直接影（yǐng）響生產工藝、產（chǎn）品（pǐn）質量和生產，為了使設備的運行性能正常，必須建（jiàn）立和完（wán）善設備的；維護與維修製度、維護內容、維修標準等。

一（yī）、維護與（yǔ）維修製（zhì）度，為了使真空鍍膜設備在維護（hù）、維修及生產過程中（zhōng）出現問題能得（dé）到及時收集、傳遞、分析和處理. 而製定的管理製（zhì）度。

1.有（yǒu）完善的製度,如設備的（de）使用操作規程。維修人員（yuán）在維修時應掛放“正在維修”牌，並（bìng）切斷電源以防他人使用機器（qì）設備等（děng）.

2.在工廠生產管理中,設備的維護（hù）與維修是重要的一方麵。應該有專職的、能力強的（de）維修人員負責。

二、設備的維護，維護（hù）可分為：日常維護和定期維護（hù）。

1.日常維護就是在（zài）當（dāng）天生產中發現設備有不良跡象，就馬上解決。發現機（jī）械泵（bèng）的油少了就要添加，不要認（rèn）為（wéi）這（zhè）油是（shì）定期更換（huàn）的，等到了時間在維護，可能泵（bèng）的轉子就會磨損嚴（yán）重了。再比如工件轉（zhuǎn）架的軸承有些卡，就要更換軸承，而等到它（tā）徹底的（de）壞了再換，問題可就大了（le），可能引起（qǐ）轉架電（diàn）機燒毀等。

2.定期維（wéi）護，有人會問有了日常維護還有必要定期維護嗎？其實每一（yī）種設備都有自己使（shǐ）用壽命（mìng），比如擴散泵用的矽油使用壽命為（wéi）2年（nián）左右，我就規（guī）定1年半就把它換掉，這樣做是不是浪費，我覺的不浪費，從設備服務於生產來說是值得的，老板最不希望看到的是機器在生產階段出現問題。隻要你把日常維護和定期維護做好了，在延長設備壽命的同時，生產過程中出現故障的幾（jǐ）率也大大降低（dī），生產效率也提高了。

三、設備維修：說到維修很多人都頭疼的是真空部分的漏氣，真空部分出（chū）了問題比較麻煩，再加上很多公司（sī）沒有檢漏儀，這就要分階段來找。真空抽不上去（qù）原因可能（néng）有以下幾點：

1.也許是漏率偏（piān）高就是我們常（cháng）說的（de）有漏氣；

2.也許是真空機組的抽氣（qì）能力不夠了，油被汙染或（huò）氧化了；

3.也許是真空室內太髒放氣。

或者是（shì）這幾種可能都有。出現問題，首先是要判斷，是不是拆（chāi）裝過東西？會不會漏水？閥門打（dǎ）開了嗎？根據現（xiàn）象判斷原因，然後（hòu）再去根據判斷（duàn）找問題，可能會收到（dào）事（shì）半功倍的效（xiào）果（guǒ）。有次我們清洗弧蒸發源，清（qīng）洗完裝上一（yī）試抽真空比以前慢了，就懷疑是（shì）弧蒸發源漏（lòu）氣，後來經過檢查（chá）是弧蒸發源（yuán）的一個密封圈（quān）本來是要更（gèng）換（huàn）的，在裝配時認為還可以就沒有更換（huàn），結果就造（zào）成了漏氣。