塗層技術及工藝流程（chéng）塗層技術及工藝（yì）流程塗層技術及工藝流程塗層技（jì）術及工藝流程     1.真空塗（tú）層技術的發展   真空塗層技術起步時間不長（zhǎng），國際上在上世紀（jì）六十（shí）年代才（cái）出現將CVD(化（huà）學氣相沉積)技術應用於硬質合金刀具上。由於   該技術需在高溫下進行(工藝溫度高於 1000ºC)，塗層種類單一，局限性很大，因（yīn）此，其發展初期未免差（chà）強人意（yì）。   到了（le）上世紀七十年代末，開始出（chū）現 PVD(物理氣相沉積) 技（jì）術，為（wéi）真空塗層開創了一個充滿燦爛前景的新（xīn）天地，之後在短短的二、三十年間PVD 塗層技術得到迅猛發展，究（jiū）其原因，是因為其在真空密封的腔體內（nèi）成膜，幾乎無任何環境汙染（rǎn）問題，有利於環保;因為其能得到光亮、華貴的表麵，在顏色上，成熟的有七彩色、銀色、透明色、金黃色、黑色、以及由（yóu）金黃色到黑色之間的任何一種顏色，可謂五彩繽紛，能夠滿足裝飾（shì）性的各種需要;又由於 PVD 技術，可以輕鬆得到其他方法難以獲（huò）得的高硬度、高耐磨性的陶瓷塗層（céng）、複合塗層，應用在工（gōng）裝、模具上麵，可以使壽命成倍提高，較好地實現了低成本、高收益的效果;此外， PVD 塗層技（jì）術具有低溫、高（gāo）能兩個特（tè）點（diǎn），幾乎可以在任何基材上成膜，因此，應用範圍十分廣闊，其發展神速也就不足為奇。   真空塗（tú）層技（jì）術發展到了今天還出現了PCVD(物理化學氣相沉積)、MT-CVD(中溫化學氣相沉積)等新技術，各種塗層設（shè）備、各種塗層工藝層出不窮，如今在（zài）這一領域中，已呈（chéng）現出（chū）百花齊放，百家爭鳴的喜人景象。   與此同時（shí），我們還應該清醒地看到，真空塗層技術的發展（zhǎn）又是嚴重不平衡（héng）的。由於刀具、模具的工作環境極其（qí）惡劣，對薄膜附著力的要求，遠高於裝飾塗層。因而，盡管裝飾塗層的廠家已遍布各地（dì），但能夠生產工模（mó）塗（tú）層的廠家並不多。再加上刀具、模具塗層售後服務的欠缺，到目前為止，國內（nèi）大多數（shù）塗層設備廠家都不能提供完整的刀具（jù）塗層工（gōng）藝技術(包括前處理工藝、塗層工藝、塗後處理（lǐ）工藝、檢測技術、塗層刀具和模具的應用技術等)，而且，它還要求工藝技術人員，除了精通塗層的專業知識以外，還應具有紮實的金屬材料與熱（rè）處（chù）理知識、工模塗層前表麵預處理知識、刀具、模具塗層的合理選擇以及上機使用的技術   要求等，如果任（rèn）一環節出現問題，都會給使用者產生使用效果不理想這樣的結論。所有這些，都嚴重製約了該技術在刀具、模具上的應用（yòng）。   另一方麵（miàn），由於該技術是一門介乎材料（liào）學、物理學、電子、化學等學科的新興邊緣（yuán）學科，而（ér）國內將其（qí）應用於刀具、模具生產（chǎn）領域內的為數（shù）不多的幾個骨幹廠（chǎng）家（jiā），大多走的也是一（yī）條從國外引進先（xiān）進（jìn）設備和工（gōng）藝技（jì）術的（de）路子，尚需一個消化、吸收的過程，因此，國內目前在該領域內的技術力量與（yǔ）其發展很不（bú）相（xiàng）稱，急需奮起直追（zhuī）。   2. PVD 塗層的基本概（gài）念及其特點   PVD 是英文“Physical Vapor Deposition”的縮寫形式，意思（sī）是物理氣相（xiàng）沉積（jī）。我們現在（zài）一般地把真空蒸鍍、濺射鍍膜、離（lí）子鍍（dù）等（děng）都稱為物理氣相沉（chén）積。   較為成熟的 PVD 方法主（zhǔ）要有多弧鍍與磁控濺射鍍兩（liǎng）種方式。多（duō）弧（hú）鍍設備結構簡單，容易操（cāo）作。它的離子（zǐ）蒸（zhēng）發源（yuán）靠電焊機（jī）電源供電即可工作（zuò），其引弧的過程也與電焊類似，具體地說，在一定工藝氣壓下，引弧針與蒸發離子源短暫接觸（chù），斷開（kāi），使氣（qì）體放電。由於（yú）多弧鍍的成因主要是借助於（yú）不斷移動的弧斑，在蒸發源表麵上連續形成熔池，使（shǐ）金屬蒸發後，沉積在基體上而得到薄膜（mó）層（céng）的，與磁控濺射相比（bǐ），它不但有靶材（cái）利用率高，更具有金屬離子離化率高（gāo），薄膜與基（jī）體之（zhī）間結合（hé）力（lì）強的優點。此（cǐ）外，多弧鍍塗層顏（yán）色較（jiào）為（wéi）穩定，尤其（qí）是在做 TiN 塗層時，每（měi）一批次均（jun1）容易得到相同穩定的金黃色，令磁控濺射法望（wàng）塵莫及。多弧鍍的不足之處是，在用傳統的 DC 電（diàn）源做低溫塗層條件（jiàn）下，當塗層（céng）厚（hòu）度達到0.3μm 時，沉積率與反射率接（jiē）近，成膜變得非常困難。而且（qiě），薄膜表麵開始變朦。多弧鍍另一個不足之處是，由於金屬是熔後（hòu）蒸發（fā），因此沉積顆粒較大，致密（mì）度低（dī），耐磨性比磁控濺射法成膜差。   可見，多弧鍍膜（mó）與磁控濺射（shè）法鍍膜各有優劣，為了盡可（kě）能地發揮它們各自的優越性，實（shí）現互補，將多弧技（jì）術與磁控技術合而為一（yī）的塗層機應運而生。在工藝上出（chū）現了多弧鍍打底，然後（hòu）利用磁控濺射法增厚塗層，最後再利用多弧鍍達到最（zuì）終穩定的表麵塗（tú）層顏色的新方法。   大約在八（bā）十年代中後（hòu）期，出（chū）現（xiàn）了熱陰極（jí）電子槍（qiāng）蒸發離子鍍、熱陰極弧磁控等離子鍍膜（mó）機，應用效果很好，使TiN 塗（tú）層刀具很快得到普及性應（yīng）用。其中熱（rè）陰極電子槍蒸發離子鍍，利用銅坩堝（guō）加熱融化被鍍金屬材料，利用（yòng）鉭燈（dēng）絲給工件加熱、除氣，利用（yòng）電子槍增強離化率，不但可以得到厚度 3~5μm的TiN 塗層，而且其結合力（lì）、耐磨性均有不俗表現（xiàn），甚至用打磨的方法都難以除去。但是這（zhè）些設備都隻適合於 TiN塗層，或（huò）純金屬薄（báo）膜（mó）。對（duì）於多元塗層（céng）或複合塗層，則力不從心，難以適應高硬度材料高速切   削以及模（mó）具應用多樣性的（de）要求。   3. 現代塗層設備(均勻加熱技術、溫度（dù）測量技術、非平衡磁控濺射技術、輔助陽極技術、中頻（pín）電源、脈衝技（jì）術) 現代塗層設備主要由真空室、真空獲得部分、真空測量部分、電源供給部分、工藝（yì）氣體輸（shū）入係統、機械傳動部分、加熱及測溫部件、離（lí）子蒸發或濺射源、水冷係統等部分組成。   3.1 真空室（shì）   塗層設備主要有連續塗層生產線及單室塗層機兩（liǎng）種形式（shì），由（yóu）於工模塗層對加熱及機械傳動部分有較高要求，而且工模形狀、尺寸千差萬別，連續塗層生產線通常難以滿足要求，須采用單室塗層機。   3.2 真空獲得部（bù）分   在真空技術中，真空獲得部分是重要組成部分。由於工模件塗層高附著力的（de）要求，其塗層工藝開始前背景真（zhēn）空度最好高（gāo）於6mPa，塗層工藝結束後真空度甚至可達 0.06mPa 以上，因此合理選擇真空獲得設備（bèi），實現高真空度至關重要。   就目前來說，還沒有一種泵（bèng）能從大氣壓一直工作到接近超高（gāo）真空（kōng）。因此，真空的獲得不是一種真空設備和方法所能達到的（de），必須將（jiāng）幾種泵聯合使用，如機械泵、分子泵係統等。   3.3 真空測量部分   真空係（xì）統（tǒng）的真空測量部分，就是要對真空室內的壓強進行測量。像真空泵一樣，沒有一種真（zhēn）空（kōng）計能測量整（zhěng）個真空範圍，人們於是按不同的原理和要求製成了許多種類（lèi）的真空計。   3.4 電源供給部分靶電源主要有直流電源(如 MDX)、中頻（pín）電源(如美國（guó） AE公司生產的 PE、PEII、PINACAL);工（gōng）件本身通常需（xū）加直流電源(如 MDX)、脈衝電源(如美國AE公司生產（chǎn）的 PINACAL+)、或射頻電源(RF)。   3.5 工藝氣體輸入係統   工藝氣體，如氬氣(Ar)、氪（kè）氣(Kr)、氮氣(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(O2)等，一般均由氣瓶供（gòng）應，經氣體減壓閥（fá）、氣體截止閥、管路、氣體流量計、電磁閥、壓電閥，然後通入真空室。這種氣體輸入係統的優點是，管路簡捷、明（míng）快，維修或更換氣瓶容易（yì）。各塗層機之（zhī）間互不影響。也有多台塗層機共用一組氣瓶的（de）情況，這種情況在一些規（guī）模較大的塗層車間可能有機會看到。它的好處是，減少氣瓶占用量，統一規劃、統一布局。缺點是，由於（yú）接頭增（zēng）多，使漏氣機會增加。而且，各塗層機之間會互相幹擾，一台塗層機的管路漏氣，有可能會影響（xiǎng）到其他塗層機的產品質量。此外（wài），更換（huàn）氣瓶時（shí），必須保證所有主機都處於非用氣狀態。   3.6 機械傳動（dòng）部分   刀具塗層要求周（zhōu）邊必須厚度均勻一致，因此，在塗層過程中須有三個轉動量才能滿足要求（qiú）。即在要求大工件台轉動(I)的同時，小的工件承載台（tái）也轉動( II),並且工件本身還能同時自轉(III)。   在（zài）機械設（shè）計（jì）上，一般是在大工件轉盤底部中央為一大的主動齒輪，周圍是一（yī）些小的星行輪與之齧合，再用（yòng）撥叉撥動（dòng）工件自轉。當然，在做模具塗層（céng）時，一般有兩個轉動量就足（zú）夠了，但是齒（chǐ）輪可承載量必須大大增強（qiáng）。   3.7 加熱及測溫部（bù）分   做工模塗（tú）層的時候，如何（hé）保證被鍍工件均勻加熱比裝飾塗   層加熱要重要得多。工模塗層設備一（yī）般均有前後兩個加熱器，用熱電偶測控溫度（dù）。但是（shì），由於熱（rè）電偶裝夾的為置不同，因而，溫度讀數不可能是工件的真實溫度。要想測得工件的真實溫度，有很多（duō）方法，這裏介紹一種簡便易（yì）行的表麵溫度計法（fǎ） (Surface Thermomeer)。該溫（wēn）度計（jì）的工作原理（lǐ）是，當溫度（dù）計受熱，底部的彈簧將受熱膨脹（zhàng），使指針推（tuī）動定位指針旋轉，直到最高（gāo）溫度。降溫的時候，彈簧（huáng）收縮，指針反向旋轉，但定位指針維持在最高溫度位置不動，開門（mén）後，讀取定位指針指（zhǐ）示的溫度，即為真空（kōng）室（shì）內加熱時，表麵（miàn）溫度計放置位（wèi）置所（suǒ）曾達到的最高溫度值。   3.8 離子蒸發及（jí）濺射源   多弧鍍的蒸發（fā）源一般為圓餅形，俗稱圓餅靶，近幾年也出現了長方形的多弧靶，但未見（jiàn）有明顯效果（guǒ）。圓餅靶裝在（zài）銅靶座(陰（yīn）極（jí）座)上麵，兩者為羅紋連接。靶（bǎ）座中裝有磁鐵，通過前後移動磁鐵（tiě），改（gǎi）變磁（cí）場強度（dù），可調整弧斑移動速度及軌跡。為了降低靶及靶座的溫度，要給靶座（zuò）不斷通入冷卻水。為了（le）保證靶與靶座（zuò）之間的高導電、導熱性，還可以在靶與靶（bǎ）座（zuò）之間加錫(Sn)墊片。磁（cí）控濺射鍍膜一（yī）般采用長方形（xíng）或圓柱形靶材，   3.9 水冷係統   因為工模塗層時，為了提高金屬原子（zǐ）的（de）離化（huà）率，各個陰極靶座（zuò）都（dōu）盡可能地采（cǎi）用大的功率輸出（chū），需要充分冷卻;而且，工（gōng）模塗層中的許多種塗層（céng），加熱溫度（dù）為（wéi） 400~500ºC，因此，對真空室壁、對各個密封麵的冷卻也很重要，所以冷卻水最好采用18~20ºC 左右的冷（lěng）水（shuǐ）機供水。為了防止（zhǐ）開門後（hòu），低溫的真空室壁、陰極靶與熱的空氣接觸析出水珠，在開門前 10 分鍾左（zuǒ）右（yòu），水冷係統應有能力切換到供熱水狀（zhuàng）態，熱水（shuǐ）溫度約為 40~45ºC。   4. 工模具PVD 的工作步驟   工模具 PVD 基本工藝（yì）流程可簡（jiǎn）述為：IQC→前處理→PVD→FQC，分別介紹如後。   4.1 IQC   IQC(In Quality Control)的主要工作除了常規的清點數量   ，   檢查圖紙與實物是否相符外（wài），還須仔細檢查工件表麵，特（tè）別是刃口部位有無（wú）裂紋等缺陷。有時對於一（yī）些刀具、刀（dāo）粒的刃口，在體式（shì）顯微鏡下觀察（chá），更方便發現問題;另外（wài），IQC 的人員還要注意（yì）檢查待鍍（dù）膜件有無塑膠、低熔點的焊料等，這些東西如果因漏檢而（ér）混入鍍（dù）膜程序，則將在（zài）真（zhēn）空室內嚴重放氣，輕者造成（chéng）整批產品脫塗層，重者使原本 OK 的產品報廢，後果不堪設想。   4.2 前處理工藝(蒸汽槍、噴砂、拋光、清洗)   前（qián）處理的目的（de）是淨化或粗（cū）化工件表麵。淨（jìng）化就是要（yào）去除各種表麵（miàn）玷汙物，製（zhì）備潔淨表麵（miàn）。通常使用各種淨化劑，借助機械、物理或化學的方法進行淨化。   粗化與光蝕相反，其目的在於製（zhì）備粗糙（cāo）的表麵以提（tí）高噴塗（tú）層或塗料裝飾的結（jié）構強度。我們（men）現在已有的前處理主要方法為：高溫蒸洗、清洗、噴砂、打磨、拋光等方法。   4.2.1   高溫蒸（zhēng）洗（xǐ）   目前，PVD 車間常用的高溫蒸洗設備是蒸汽槍。它的最大工作溫度可達 145?C，氣壓在（zài） 3~5 巴（bā）左右（yòu）。由（yóu）於模具中經常帶有一些細小孔（kǒng）、螺（luó）紋孔，孔內（nèi）中常常有油汙、殘餘冷卻液（yè）等雜質，用常規清（qīng）洗的方法難以除去。此時，高（gāo）溫蒸洗設備便可最大程度的發揮它的優越（yuè）性。   
4.2.2   清洗   各廠工模塗層前清洗（xǐ）程序大致如下：   1.超聲波除蠟（là）→2.過水→3. 超聲波除油→4.過（guò）水（shuǐ）→5. 超聲波自換→6.過水→7.過純水→8.強風幹燥   具體實施時（shí），與我們所熟悉（xī）的裝飾塗（tú）層前的清洗又有許多不同。這是因為裝飾塗層的底材大多為不鏽（xiù）鋼或（huò）鈦合金（jīn），不（bú）容易生（shēng）鏽。此外，裝（zhuāng）飾塗層對水印（yìn）、點痣等缺陷是（shì）絕對不允許的。因此，裝飾塗層對純水的水質要求極高，甚至要（yào）達到 15MΩ 以上。要保證清洗的高（gāo）質量，可以通過反（fǎn）複清洗，並在高質量的純水加超聲波中長時間浸泡（pào）來得到。但是，工（gōng）模的清洗就不（bú）同，尤其是一些熱做（zuò）模具鋼，如（rú）果像裝（zhuāng）飾（shì）塗層（céng）那樣去清洗，就會鏽得一塌糊塗。   由於工模塗層的原始表麵狀態，除了一些高標準的鏡麵模（mó）具以外，一般較裝飾塗層要粗糙，因而，對（duì）塗層後的表（biǎo）麵狀態的要求也不象裝飾塗層那樣高，這就允許我們采取快（kuài）速過水，用幹燥、無油的壓縮（suō）空氣吹幹，然後對工模強（qiáng）風幹燥的（de）方法來處理。而那些高標（biāo）準的鏡麵模具（jù），一般均為136 等不鏽鋼，可以借用裝飾塗層的清洗法。   總而言之，工模塗層前的清洗方法因工（gōng）模所使用的材料的不同（tóng）而（ér）不同，因工模塗層前（qián）的表麵狀態（tài）的不同而不同，且不可千篇一律。下麵（miàn）是幾種（zhǒng）材（cái）料生鏽由難到易的排序，供參考：
不鏽鋼、硬質（zhì）合（hé）金（jīn）、金屬陶瓷合金、DC53、高速鋼、8407 有一種自（zì）動清（qīng）洗機型號（hào）為 CR288，產自（zì）德國。該機一次最大   清洗量為 80KG，主（zhǔ）要用於清洗刀具、小型零部件、或小尺寸的（de）模具。它共有（yǒu）三個清洗缸（gāng），裏麵的溶液分別（bié）為自來水+清洗劑、自來水、去離子水。除了常見的超聲（shēng）波、大水（shuǐ）衝洗、噴淋（lín）、擺動、熱風幹燥等功能外，該機另外一個優點是最後設有抽（chōu）真空步驟，可以使水（shuǐ）分盡快揮發（fā）掉。   自動清洗機內存十（shí）種工藝（yì），均由供方預先設定。一至九（jiǔ）可分別用於不同類型的產品、不（bú）同的表麵（miàn）狀態的淨（jìng）化處理。第十種用於加注（zhù）清洗劑。   4.2.3   噴砂   噴砂法是借助壓縮空氣使磨料強力衝刷工件表麵，從而去除（chú）鏽蝕、積碳、焊渣、氧（yǎng）化皮、殘鹽、舊漆層等表麵缺陷。按（àn）磨料使用條件，噴（pēn）砂分為幹噴（pēn）砂與濕噴砂兩類。   噴砂的工藝參數主要有槍距、傾角、裝夾台旋轉速（sù）度、移動速度、行程、往返次數、噴砂時間、噴砂氣壓。我們已（yǐ）使用過的參數（shù）有槍距（jù）：30~70mm; 傾角 30~70?C; 裝夾（jiá）台旋轉速（sù）度 10~30;往返（fǎn）次數 3~9 次;噴砂氣壓：1.8~3.5 巴等。具體操作時，根據工件表麵髒（zāng）汙程度，工件硬度（dù），工件表麵幾何形狀等（děng）因素，選取上下限。我們在幹噴砂機中所選（xuǎn）用的磨料為玻璃珠，適合噴（pēn）一些硬度介中的材料，如油鋼、模具等;在液體噴砂機中所選用的（de）磨料（liào）為氧化鋁，硬度較高，適合噴一些硬度高的材（cái）料（liào），如硬質合金（jīn）材料。對於工模塗層而言，噴砂所使（shǐ）用的磨料粒度也很重要。如果磨料粒（lì）度（dù）過大（dà），則工件表麵太粗糙;如果（guǒ）磨料粒度太小，又會降低衝擊力度，甚至嵌在（zài）工件表麵，清洗難以去除，從而使工件塗層附（fù）著力降低。為此，歐（ōu）洲一些國家，對（duì）工模塗層前噴（pēn）砂   所用磨料（liào）粒度做過仔（zǎi）細研究，嚴格到必須保證 85%以上的晶粒度在中 A、B 兩點範圍內才能使用。相比之下，我國磨料的供應商還缺乏（fá）這方麵的共識，我（wǒ）們也（yě）很少有做這（zhè）方麵的檢驗。   4.3 PVD 塗層工藝(加熱、離子（zǐ）清洗、塗層、冷卻、工藝氣體、氣壓、溫度、濺射功率)   4.4 FQC   FQC 的英文全拚為：“Function Quality Control”，意思是功能質量控製，它有別與一般意義上（shàng）的 OQC(Out Quality Control) 。FQC 的內容主要包括外觀檢查、層深檢查、附著力檢（jiǎn）查、耐磨性檢查、抗蝕性檢查、模擬性測試等方法。我廠目前應用的主要有外觀檢查、層深檢查和附著力檢查。由於我們所接觸的產品大多都（dōu）是不允許做破壞性檢查的，因而我（wǒ）們在鍍膜時，每批都會放進隨批（pī）試（shì）樣（yàng）。做（zuò）層深檢查和附著力檢查的時候，大（dà）多數情況下，實際上是對隨批試樣進行（háng）檢查。因為試樣與產品（pǐn）在原材料、熱處理狀態、裝夾位置等方麵都難於一致，所以這（zhè）樣檢測出的結果，與產品實際值會有一定的誤差（chà）。有時可能還會有相當大的誤差，隻能做參考使用。當然，必要的時候，我們也可以（yǐ）通過（guò）製作模擬件，達到準確測量的目的。  
 4.4.1   外觀檢
對於開門取件後的產品，應仔細檢查表麵有無裂紋、掉塗層（céng）、疏鬆等缺陷。對於刀具、刀粒，還需在顯微鏡下仔細（xì）檢查它（tā）們的刃口狀態。   4.4.2   層深檢（jiǎn）查   層深檢查有切片（piàn）金相觀察法、X-ray 檢查法、用單（dān）色光做（zuò）光源的光（guāng）學測試法、球磨儀測試法等多種方法。工模塗層的層深檢查是在球磨儀上進行的。方法是先用直徑為 10mm 的鋼球與測試表麵滾磨，然後在顯（xiǎn）微鏡下測量（liàng）磨痕的有（yǒu）關數據，帶入公（gōng）式中，即可方便算出層深。   這種層深檢（jiǎn）查法的特點是：方便適用，誤差稍大。但這種誤差應用於工模上麵影響不會太大。有興趣的同事還可參閱有關的說明書。附著力的檢（jiǎn）查方法有（yǒu）很（hěn）多，各個廠根據自己產品的特點，都製定了（le）相應的檢測（cè）方法。其中，比（bǐ）較權（quán）威的（de）方法有兩種（zhǒng），一種是（shì）在（zài）洛氏硬度計上，以圓（yuán）錐型金剛石壓頭做（zuò）壓痕試驗，在顯微鏡（jìng）下觀察，以壓（yā）痕（hén）周邊裂紋（wén）的多少來判斷塗層附著力的高低。該方（fāng）法對金剛石壓頭的形狀要（yào）求很高（gāo），不但（dàn）嚴格要求中心點在圓（yuán）的（de）中心，而且金剛石圓錐的圓度必須十（shí）分規則（zé）。遺憾的（de）是，目前，我國還沒有它的（de）國家或（huò）行業標準;另一種方法是劃痕法，我國有（yǒu）些塗層發起較早的科研部門，也是采（cǎi）用的該方法，有專門的國家行業標準可供查詢。   5. 工裝夾具的處（chù）理   6. 塗後處（chù）理工藝(噴砂、塗（tú）脂技術，拋光處理)   7. 檢測技術(結合力的檢測、層深的檢測、酸蝕（shí）)   8. 塗層剝離技術(TiN/TiAlN 的剝離技術、CrN/DLC/CrAlTiN 的剝離技術、硬質合金（jīn）的表（biǎo）麵塗層剝離技術)   9.塗層（céng）刀具的應用技術(塗層的正確選擇、塗（tú）層刀具的正確使用   塗層對刀具的優化（huà）非常大，由於高速切削加工比傳統切削加工所產生的溫度（dù）要高，應用塗層，可以發揮其耐高溫、抗氧化及加硬材質等作用。例如，氮化鉻（gè）(CrN)塗層可降低磨擦係數，改善光潔度及排屑情（qíng）況（kuàng）