當前(qián)位置:首頁|DN係列多功(gōng)能真(zhēn)空鍍膜(mó)機
工(gōng)作原理
應用範圍
產品特點
技術參數表
DN係列多功能真空(kōng)鍍膜機 | |||||||
型號 | DN-600 | DN-800 | DN-1000 | DN-1200 | DN-1400 | DN-1500 | DN-1600 |
真空室尺(chǐ)寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機(jī)組 | 雙KT1000擴散泵機組 |
鍍(dù)膜係統 | 直流電源或中頻電源+多弧電源+E型電子(zǐ)槍+電阻蒸發舟(zhōu)+霍爾離子源+條(tiáo)形離子源(可選配(pèi)) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離(lí)子輔(fǔ)助源(除工具鍍外無需加溫係統(tǒng)) | ||||||
充(chōng)氣係統 | 質量流量計 | ||||||
控(kòng)製係統 | 工業電腦自(zì)動控製(工控機)、PYDNB3000膜層在線編(biān)製係統 | ||||||
控製方式 | 手動、半自(zì)動、全自動 | ||||||
抽氣速(sù)率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限(xiàn)真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備注 | 以上(shàng)設備參數(shù)僅做參考,具體均按(àn)客戶實際工(gōng)藝要求設(shè)計訂做(可選配進口分子泵機組) |