工作(zuò)原理
應用(yòng)範圍
產品特點
技術參數表(biǎo)
HLB係列大型板(bǎn)材管材真空鍍(dù)膜機 | |||||||
型號 | HLB-1800 | HLB-2000 | HLB-3000 | HLW-2000 | HLW3000 | HLW-4000 | HLW-5000 |
真空室尺寸 | Φ1800×2000MM | Φ2000×2000MM | Φ3000×3000MM | Φ2000×6000MM | Φ3000×6000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空(kōng)機組 | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機(jī)組 | 雙(shuāng)KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*4套(tào) |
鍍膜係統 | 專用多(duō)弧鍍膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧靶(可選配) | ||||||
輔(fǔ)助鍍膜係統 | 低溫離子輔助源(除工具(jù)鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | ||||||
控製方式 | 手動或全自(zì)動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備注 | 以(yǐ)上(shàng)設(shè)備(bèi)參數僅做參(cān)考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設計(jì)訂(dìng)做 |