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磁控濺射膜厚(hòu)均勻性設計方法

作者: 來源: 日期:2020-11-09 10:56:38 人(rén)氣:21113

磁控濺射鍍(dù)膜是現代工業中不可缺少的技術之一,磁控濺射鍍膜技術正(zhèng)廣泛應用於透明導電膜(mó)、光學膜、超硬膜、

抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種(zhǒng)裝(zhuāng)飾膜,在(zài)國(guó)防和(hé)國民經濟(jì)生產中的作用和地位日益強大。


鍍膜工藝中的薄膜厚(hòu)度均勻性,沉積(jī)速率,靶材利(lì)用率等方麵的問題是實際生產中十分關注的。
解決這(zhè)些實際問題的方法是對涉及濺(jiàn)射沉積過程的全部因素進行整體的優化設計,建立一個濺射鍍膜的綜(zōng)合設計係統。
薄膜厚度均勻性(xìng)是檢驗濺射沉積過程的最重要參數之一,因此對膜厚(hòu)均勻性綜合設計的研究具有重要的理論和應用(yòng)價值。

磁控濺射技術發展過程(chéng)中各項(xiàng)技術的突(tū)破一般集中在等離子體的(de)產生以及對等離子體進行的(de)控製等方麵。

通過對電磁場、溫度場和空間不同種類粒子分布參數的控製,使膜層質(zhì)量和屬性滿足各行業的要求。


膜厚均勻性與磁控濺射靶的工作狀態息息相關,如靶的刻蝕狀態,靶的電磁場設計等,

因此,為保證膜厚均勻(yún)性,國外的薄膜(mó)製備(bèi)公司或鍍膜設(shè)備製造公司都有各自的關於鍍(dù)膜設備(包括核心部件“靶”)的整套設計(jì)方案。

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