磁控濺射鍍(dù)膜是現代工業中不可缺少的技術之一,磁控濺射鍍膜技術正(zhèng)廣泛應用於透明導電膜(mó)、光學膜、超硬膜、
抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種(zhǒng)裝(zhuāng)飾膜,在(zài)國(guó)防和(hé)國民經濟(jì)生產中的作用和地位日益強大。
磁控濺射技術發展過程(chéng)中各項(xiàng)技術的突(tū)破一般集中在等離子體的(de)產生以及對等離子體進行的(de)控製等方麵。
通過對電磁場、溫度場和空間不同種類粒子分布參數的控製,使膜層質(zhì)量和屬性滿足各行業的要求。
膜厚均勻性與磁控濺射靶的工作狀態息息相關,如靶的刻蝕狀態,靶的電磁場設計等,
因此,為保證膜厚均勻(yún)性,國外的薄膜(mó)製備(bèi)公司或鍍膜設(shè)備製造公司都有各自的關於鍍(dù)膜設備(包括核心部件“靶”)的整套設計(jì)方案。