質量流量計（jì），即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表，

其測量值（zhí）不因溫度（dù）或壓力的波（bō）動而失準，不需要溫度壓力（lì）補償。

質量流量控製器，即Mass flow controller(縮寫為MFC），不但具有質量流（liú）量計的功能，

更重要的是，它能自動控製（zhì）氣體流量，即用（yòng）戶可根據需要進行流量設定，MFC自動（dòng）地將流量恒（héng）定在設定值上，

即使係統壓力有波動或環境（jìng）溫度有變化，也不會（huì）使其偏離設定值（zhí）。

簡單（dān）地說，質量流量控製器就是一個穩定裝置，是一（yī）個可以手動設定或與計算機聯接自動控製的氣體穩（wěn）流裝置。