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膜厚的量(liàng)測方法有哪些

作者: 來源: 日期:2020-07-28 13:56:26 人氣:10053

膜(mó)厚的量測方法大致上可分為原位量(liàng)測、離位(wèi)量(liàng)測兩類(lèi) 

原位星測(cè)係指鍍膜進(jìn)行中量測,普遍使用在物理氣相沉積,如(rú)微天(tiān)平、光學、電阻量測(cè)。

離位量測係指鍍膜完成後量測,對(duì)電鍍(dù)膜的行使較(jiào)為普遍,具(jù)有了解電鍍效率的目的,如質量(liàng)、剖麵(miàn)計、掃描式電子(zǐ)顯微鏡。

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