真空（kōng）鍍膜機是目（mù）前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備，一般用真空室、真（zhēn）空機（jī）組、電（diàn）氣控製櫃三大部分組成，排氣係統采用擴散泵+機械泵＋羅茨泵（bèng）＋低溫冷阱＋polycold組成。
下麵（miàn），詳細（xì）介紹（shào）真空（kōng）鍍（dù）膜機的各部分組（zǔ）成及其工作原理（lǐ）：
1、真空主體：真空腔根據加工產品要求（qiú）的各（gè）異，真（zhēn）空腔的大小也不一樣，目前應用最（zuì）多的有直（zhí）徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不鏽鋼材料製作，要求不生鏽（xiù）、堅（jiān）實等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣（qì）泵浦。　　
2、輔助抽氣係統：排氣係統為鍍膜機真空（kōng）係統的重要部分，主要有由機械泵（bèng）、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。此排（pái）氣（qì）係統采用"擴散泵+機械泵（bèng）＋羅茨泵（bèng）＋低溫（wēn）冷阱＋polycold"組成。排氣流程為：機械泵先（xiān）將真空（kōng）腔抽至小於2.0*10-2PA左（zuǒ）右的低（dī）真空狀（zhuàng）態，為擴散泵後繼抽（chōu）真空（kōng）提供前提，之後當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵（bèng）組成串聯，以這樣的方式完成抽氣動作。　
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