真空電鍍設備膜厚的不均勻問題
作者: 來源: 日期:2017-10-25 16:07:52 人氣:4795
無論監控儀精度怎樣,它也隻能控製真空室裏單點位置的膜厚,一般來講是工件架(jià)的中間位置。如果(guǒ)真(zhēn)空電(diàn)鍍設備此位置的膜厚不是絕對均勻(yún)的,那(nà)麽遠離中心(xīn)位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏(píng)蔽(bì)罩(zhào)能消(xiāo)除表現為長期的不均勻性,但有些膜厚度的變化是由(yóu)蒸發源的不穩定或膜材的(de)不同表現而(ér)引起的,所以幾乎(hū)是不可能消除的,但對真(zhēn)空室的(de)結構和蒸發源(yuán)的恰當(dāng)選(xuǎn)擇可以使這些影響最小化(huà)。
在過去幾年中,越來越多的用戶要求鍍膜係統製造廠家提供高性(xìng)能的小規(guī)格、簡便型光學鍍膜係(xì)統,同時,用戶對性能的要求(qiú)不僅沒有降低,反(fǎn)而有所提高,特別是在薄膜密度和保證(zhèng)吸水後光譜變化最小化等方麵。
現在,係統的平(píng)均尺(chǐ)寸規格(gé)已經在降(jiàng)低,而應用小規格設備(bèi)進行光學鍍膜的生產也已經轉變成為純技術問題。因此,選用現代化光學鍍膜係統(tǒng)的關鍵取決(jué)於對以下因素的認(rèn)真考慮:對鍍(dù)膜產品的預期(qī)性能,基片(piàn)的尺寸大小和物理特性以(yǐ)及保證(zhèng)高度一致性(xìng)工藝所必需的所有技術因素(sù)。