真(zhēn)空鍍膜技(jì)術是真空應用技術的一個重要分(fèn)支,它(tā)已廣泛地應用於光(guāng)學、電子學、能源開發,理化儀器、建築機械、包裝、民用製品、表麵科學以及科學研究等(děng)領域中。真空鍍膜所采用的方法主要有蒸發鍍、濺射鍍(dù)、離子鍍、束流沉積鍍以及分(fèn)子束外延等。此外還有化學氣相(xiàng)沉(chén)積法。如果從真空鍍(dù)膜(mó)的目的是為了改變物質表麵的物(wù)理、化學性能的話,這一技術又是真空表麵處理技術中(zhōng)的重要組成部分,其分類如表 6 所示。現就其幾個主要應用方麵(miàn)做一簡單介紹。
首先在光學方麵,一塊光學玻璃(lí)或石英(yīng)表麵上(shàng)鍍一層或幾層不同物質的薄膜後,即可成為高(gāo)反射或無反射(即增透膜)或者作任何預期比例的反射或透射材料,也可以作成對某種波長的吸收,而對另一種波長的透射的濾色片(piàn)。高反射膜從大口徑的天文望遠鏡和各(gè)種激光(guāng)器開始、一直到新型建築物的大窗鍍膜(mó)茉莉(lì),都很需要。增透膜則大量用於照(zhào)相和各種激光器開始、一直到新型建築物的大窗鍍膜玻璃,都很需要。增透膜則大量用於照相機和電視攝象機的鏡頭上。
在電子學方麵真空鍍膜更占有極為重(chóng)要的地位。各種規模的繼(jì)承電路。包括存貯器、運算器、告訴(sù)邏輯元件等(děng)都要(yào)采用導電膜、絕緣膜和保護(hù)膜。作為製備電路的掩膜則用(yòng)到(dào)鉻膜。磁帶、磁盤、半導體激光器,約瑟夫遜器件、電荷耦合器件( CCD )也(yě)都甬道各種薄膜。
在顯示器件方麵,錄(lù)象磁頭、高密度錄象帶(dài)以及平麵(miàn)顯示裝置的透明導電膜、攝像(xiàng)管光導膜、顯示管熒光屏的鋁襯等也都是采用真空鍍膜法製備。在元(yuán)件方麵,在真空中蒸發鎳鉻,鉻或金屬(shǔ)陶瓷可以製造電阻,在塑料(liào)上蒸發鋁、一氧化矽、二氧化鈦等可以製造電容器,蒸發硒可以得到(dào)靜電複(fù)印機用的硒鼓、蒸發鈦酸(suān)鋇可(kě)以製造磁致伸縮的起聲(shēng)元件等(děng)等。真空蒸發還可以用(yòng)於製造超導(dǎo)膜和慣性約束巨變反應用的微珠鍍層(céng)。此外還可以對珠寶、鍾表外殼表麵、紡織品金(jīn)屬花紋、金絲銀絲線等蒸(zhēng)鍍裝飾用薄膜,以(yǐ)及采用濺射鍍或離子(zǐ)鍍對刀具、模具等製造超硬膜。近兩年(nián)內(nèi)所(suǒ)興起的多弧離子鍍製備鈦金製品,如不鏽鋼薄板(bǎn)、鏡麵板、包柱、扶手(shǒu)、高檔床托架、樓(lóu)梯欄杆等目前正在盛行。