油擴（kuò）散泵的應用壓強範圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴（kuò）散現（xiàn）象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速（sù）大（最高可以達到10+5升（shēng）/秒）等特點。油擴散泵主（zhǔ）要由泵（bèng）殼（ké）、噴嘴、導流（liú）管和加熱器組成，裏麵（miàn）主（zhǔ）要添（tiān）加擴散泵（bèng）油（日本的型號是D-704#），根據噴嘴的多少可以分（fèn）為單級泵和多級泵。 

        擴散泵底部內（nèi）儲存（cún）有擴（kuò）散泵油，上部為進氣口（kǒu），右（yòu）側旁下部為出氣口，在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強，機械（xiè）泵充當前置（zhì）泵。 

        當擴散泵的油（yóu）被電爐加熱時，產生（shēng）的油蒸汽提（tí）供前置壓強，機械泵充當前置泵。當擴散泵油被電爐加熱時，產生的（de）油蒸汽沿著導流管經傘（sǎn）形噴嘴向下（xià）噴出。因（yīn）噴嘴外麵有機械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可噴出一段距離（lí），構成一個向出氣口方向運（yùn）動的射流。射流最後（hòu）碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結為液體，流回蒸發器，即靠油的蒸發——噴射——凝結，重複循環來實現抽氣的。 

         由進氣口（kǒu）進入泵內的氣體分子，一旦落入蒸汽流中，便獲得向下運動的動（dòng）量，向下飛去，由於射流具有高（gāo）的（de）流速（約200米/秒），高的蒸汽密度，且擴散泵油具有高的分子量（300-500）故能有效的帶走氣體分子，因（yīn）此在（zài）射流（liú）的界麵內，氣體分子不可能長期滯留，且（qiě）在射流界麵的兩（liǎng）邊，被抽氣體有很大的濃度差，正是因為（wéi）這（zhè）個濃度差被抽氣體能不斷的越過界麵，擴散進入射流中，被帶（dài）往出口處，在出口處再由機械泵抽走。 

         擴散泵的油蒸汽壓是決（jué）定泵的極限真空（kōng）的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油（yóu），其化學特性要好。 

         擴散泵不能單獨（dú）用來抽氣，一般要求泵的最大出口壓強為40帕。擴散泵的抽速決定（dìng）於第一級噴嘴與泵體進氣（qì）口口徑間環形麵積的大（dà）小，抽速不是一恒定的值，而是隨著（zhe）進氣口的壓強而（ér）變化的，當壓（yā）強在10-2～10-3帕的時候，擴散泵的（de）抽氣（qì）速度是最快的，當壓強小於（yú）5*10-4帕之後（hòu），擴散泵的抽氣（qì）速度最（zuì）小，幾乎（hū）沒有抽氣能力（此時，進氣口（kǒu）的壓強較高，由於空氣的密度較大，使蒸汽流形成不了高速射流以阻（zǔ）擋空氣的反擴散，所以抽速下降）。 

        擴散泵在安裝前要清洗，之後才可以裝入擴（kuò）散油，油在加（jiā）熱前，必（bì）須要先對泵抽真空，停機前要先將擴散泵油冷卻到60～70攝（shè）氏度，才可以關閉前級抽氣，最後關冷卻水。 

       由於油擴散泵是無（wú）法杜絕有返油的幾率（lǜ），那（nà）麽沒有辦法保證精（jīng）密產品的100％純淨，特別是半（bàn）導體行業，所以就有“高真空冷凝泵＋低真空機械泵”所組成（chéng）的（de）無油（yóu）真（zhēn）空係統，冷凝泵組成的排氣係統不僅（jǐn）排氣效率極高，而且有效保證真空腔（qiāng）的清潔，保證（zhèng）產品的質量（避免產品被汙染、增（zēng）強膜層（céng）與基板之間（jiān）的附著力（lì）），但是其維護成本非常的高，造價昂貴，所（suǒ）以普及率沒有（yǒu）油擴散泵廣泛。 

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