磁控濺（jiàn）射膜常見故障的（de）排除

膜層（céng）灰（huī）暗及發黑

(1)真空度低於 0.67Pa。應將真空度提高到 0.13-0.4Pa。

(2)氬氣純度低於 99．9％。應換用（yòng）純度為 99．99％的氬氣。

(3)充氣（qì）係統漏氣。應檢查充（chōng）氣係統，排（pái）除漏氣現象。

(4)底漆未充分固化。應適當延長底漆的固化時間。

(5)鍍件放氣量太大。應進行幹燥和封（fēng）孔處理 膜（mó）層表麵光澤暗淡

(1)底漆固化不良或變質。應適當延長底漆的固化時間或更換底漆。

(2)濺射（shè）時間太長。應適當縮短。

(3)濺射成膜速度太快。應適當降低濺射電流或電壓

膜層色澤不均

(1)底漆噴塗得不均勻。應改進（jìn）底漆的（de）施塗方法。

(2)膜層太薄。應適當提（tí）高濺射速度或（huò）延長濺射（shè）時間。

(3)夾具（jù）設計不合理。應改進夾具設計。

(4)鍍件的幾何形狀太（tài）複（fù）雜。應（yīng）適當（dāng）提高鍍件的旋轉速度

膜層發（fā）皺、龜裂

(1)底漆（qī）噴塗得太厚。應控製在 7—lOtan 厚度範（fàn）圍內。

(2)塗料的粘度太高。應適（shì）當降低。

(3)蒸（zhēng）發速度太快。應（yīng）適當減慢。

(4)膜層太厚（hòu）。應適當縮短濺射時間。

(5)鍍件（jiàn）溫度太高。應適當（dāng）縮短對鍍（dù）件的加（jiā）溫時間

膜層表麵有水跡、指紋及灰粒

(1)鍍件清洗後未充分幹燥。應加強鍍前處理。

(2)鍍件表麵濺上水珠或唾液（yè）。應（yīng）加強文明生產，操作者應帶口罩（zhào）。

(3)塗底漆（qī）後手接觸過鍍件，表麵留下指紋。應嚴禁用手接觸（chù）鍍件表麵。

(4)塗料中有顆粒物。應過濾塗料或更換塗料。

(5)靜電除塵失效（xiào）或噴塗和（hé）固化環境中有顆粒灰塵。應（yīng）更換除塵器，並（bìng）保持（chí）工作環境的清潔（jié）

膜（mó）層附著力不良

(1)鍍件（jiàn）除油脫脂不徹底。應加強鍍前處理。

(2)真空（kōng）室內不清潔。應清洗（xǐ）真空室（shì）。值得注意（yì）的是，在裝靶和拆靶的過程中，嚴禁用手 或（huò）不幹淨的物（wù）體與磁控源接觸，以（yǐ）保證磁控源具有較高的清潔（jié）度，這是提高膜層結合力的 要措施之一。

(3)夾具不清潔。應清洗（xǐ）夾具。

(4)底塗料選用不當。應更換塗料。

(5)濺射工藝條件控製不當（dāng）。應改進濺射工藝條件