為盡量減小
真空鍍膜機真空(kōng)室形變帶來的影響,我們(men)將導軌、絲杆等傳動件固定於一個剛性的(de)中間層上(shàng),其與真空室底(dǐ)壁之間采用點、線、麵活性支撐,以吸收和隔離形變,並設置形(xíng)變補償調節機構,在係統(tǒng)抽真空前,參照(zhào)有限元計算提供的理論數據預設適當的補償量,以使其在真空狀態下(xià)達到平衡。而這樣的真空設計也使得現(xiàn)在的(de)真空鍍膜機就能夠讓鍍膜在真空環境下正常(cháng)進行,防止外界因素(sù)的影響。
而為了驗證有(yǒu)限元計(jì)算的結果,對真空室的形變和補償進行了測試。首先將四隻千分表定位在工作台安裝基點的真空壁(bì)外側,當真空室由大氣抽(chōu)到真空時,記錄各千分表(biǎo)的(de)變化量,經歸一化處理後為用激光自(zì)準(zhǔn)直(zhí)儀調整形變補償。由水平調整的自(zì)準直儀發出一束激光穿過真(zhēn)空室的玻璃(lí)窗照射固定(dìng)於工作台上的反射(shè)鏡,在大氣環境下調整形(xíng)變(biàn)補償調節機構,使反射光束進入自準直儀接收視(shì)場,記錄兩維角度偏差。這些數據之後需要對其進行分析處理,得到(dào)測試結果。