真空鍍膜塗層膜厚測量方式?
作者: 來源: 日期:2021-07-14 12:19:06 人氣:2503
我們日常(cháng)生活中,很多生活物品都經過鍍膜機鍍上了一層膜(mó)層,讓產品不(bú)僅變得更美觀,也更實用。但是很多人會有一個疑問,那既然是鍍了一層膜層,薄(báo)膜肯定是有厚(hòu)度大小的,那麽薄(báo)膜厚度具體多厚呢,以及怎麽去測(cè)量?
薄膜必須沉積在基底之上, 所以離開了(le)基片(piàn)也就無從談薄膜沉積的問題。基片的清洗好壞又對薄膜的質最有極(jí)共重要的影響。同時在薄膜的製作(zuò)中還必須(xū)知(zhī)道薄膜的厚度,脫離了薄膜的厚度來談薄膜性質的測(cè)最也是亳無意義的。 所以, 膜厚的(de)測量和基片的清洗可以說是和(hé)薄膜製作相關的重要技術。一般所(suǒ)謂的厚度是指兩(liǎng)個完全平整的平行平麵之間的距離,這個概念是(shì)一個(gè)幾何概念。
理想的薄膜厚度是指基片表麵(miàn)和薄膜表麵之間(jiān)的距離。在薄膜形貌的三維度量中,相對於薄膜的厚度來講(jiǎng),其他兩維的度量可以說是無(wú)窮大。由於實際上存在的表麵是不平(píng)整和(hé)不(bú)連續的,而且薄(báo)膜的內部還可能存在著氣孔、雜質、晶格缺陷和表麵吸附分子等等,所有要嚴格地定(dìng)義和(hé)精確地測量薄膜(mó)的厚度實際上是很困難的。
膜厚的定義位當根據測址的(de)方法和測址的(de)目的決定。 因此,同一個薄膜(mó),使用不(bú)同(tóng)的測量方法會(huì)得到不同的結(jié)果, 即不同(tóng)的厚度。
在薄膜油測量中的表(biǎo)麵並不是一個幾何(hé)的概念,而(ér)是一個 物埋概念,是指表麵分子(原子)的集合。 平均表麵是指表麵原子所有的點到這個麵的距離代數和等於零, 平均表麵(miàn)是(shì)一個兒何概念。
我(wǒ)們通常(cháng)將基片的一(yī)側的表麵分子的集合的(de)平均表麵稱為基片(piàn)表麵;薄(báo)膜上不和基片接觸的那一側的表(biǎo)麵的平均表麵稱為薄膜(mó)的形狀表麵,將所測量的薄膜原子重新排列,使其密度和大塊狀固體材料完全一(yī)樣且(qiě)均勻的分布在基片表麵上,這時(shí)平均表麵稱為薄膜質量等價表(biǎo)麵;根據所測量薄膜的物理性質等效為一種長度和寬度與所測量的薄膜一樣的大塊固體材料的薄膜,這時(shí)的(de)平均表麵稱為薄膜物性等價表麵(miàn)。 形狀(zhuàng)膜厚是比較接近(jìn)於直觀形式的膜厚, 通常(cháng)以µm為單位; 質量膜(mó)厚反映了薄膜中包含物質為(wéi)多少,通常 以 µg/cm#8217;為單位, 物性膜厚在實際使用上較有用(yòng), 而且比較容易測(cè)量。
由於實際(jì)表麵並(bìng)不平整,同時薄膜製作過程中又不可避免地要有各(gè)種缺陷、 雜質和吸附分子等存在(zài),所以不管用哪 一種方法來定義和測量膜厚,都是一個平均值,而且(qiě)足包括了雜質、缺陷以及吸附(fù)分(fèn)子在內的薄膜的厚度值。
真空鍍膜機鍍膜是在真空腔體(tǐ)下進(jìn)行鍍膜的,對於測量膜厚度來說,是需要這方麵專業的測量儀(yí)才能測出厚(hòu)度大小(xiǎo)。