工作原(yuán)理(lǐ)
WJZ係列無介質獨立膜電阻蒸發真空鍍膜機的原理是在真空室中將金屬材料(鋁、鎳、錫等)利用電阻蒸發技術將材料汽化,汽化後的金屬分子產生飛逸沉積於基(jī)材的表麵上形成鋁、錫等純金屬(shǔ)薄(báo)膜(mó)層,出爐後(hòu)將膜層(céng)從特別的基材表麵可輕輕剝落,形成無介質獨(dú)立性的厚度為2-3μm,具有一定彈性、能夠(gòu)隔離氣體(tǐ)和光線的薄膜。
應用(yòng)範(fàn)圍
產品特點
技術參數表
WJZ係(xì)列無介質獨立膜電阻蒸發真空鍍膜機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空(kōng)室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組 | KT300擴(kuò)散泵機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT800擴散泵(bèng)機組 |
鍍膜係統 | 電阻蒸發源+圓柱(zhù)磁控多弧(可選配) | ||||||
鍍膜輔助係統 | 低溫離子鍍膜電源 | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數(shù)僅做參考,具(jù)體均(jun1)按客戶實際工藝要求設計訂做 |