工作原理
應用範圍
產品(pǐn)特點
技(jì)術參數表
HLB係列大型板材(cái)管材真空鍍膜機 | |||||||
型號(hào) | HLB-1800 | HLB-2000 | HLB-3000 | HLW-2000 | HLW3000 | HLW-4000 | HLW-5000 |
真空室尺寸 | Φ1800×2000MM | Φ2000×2000MM | Φ3000×3000MM | Φ2000×6000MM | Φ3000×6000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機組(zǔ) | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散(sàn)泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵(bèng)機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*4套 |
鍍膜係統 | 專用多弧(hú)鍍膜電源(yuán)+多功能孿(luán)生磁環弧靶+柱形(xíng)弧靶(可選配) | ||||||
輔(fǔ)助鍍膜係統 | 低溫離子輔助(zhù)源(除工具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | ||||||
控製方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空(kōng) | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際(jì)工藝要求(qiú)設計訂做(zuò) |