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解(jiě)決方案

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如(rú)何掌(zhǎng)控真(zhēn)空鍍膜的均勻性

作者: 來源: 日(rì)期:2023-04-10 14:44:49 人(rén)氣:2514
如何掌控(kòng)真空鍍(dù)膜的(de)均勻性
我們先來認識下怎麽調試鍍膜機,因為掌握調(diào)試鍍膜機是使用鍍膜機(jī)的關鍵怎麽調試鍍膜機
1、測試設備的抽真空速度,在測試過程中檢查漏氣情況與各(gè)真空泵(bèng)的性能;
2、測試(shì)設備(bèi)的密封性(xìng)能,就是抽到極限(xiàn)後保壓1小(xiǎo)時看壓降是否達標,同時排除細小的漏孔;
3、產品試作,檢驗其他的性能,比如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝(yì)保證的話就繼續打樣並作測試。
5、所有(yǒu)的測試應作記錄,並有記錄人簽字(zì)以及有使用部門或工程(chéng)部門的人確認簽字(zì)

怎麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍膜機原理(lǐ)的不同分為很多種類,僅僅(jǐn)因(yīn)為都需要高真空度而(ér)擁有統一名(míng)稱。所以對於不同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相同。並(bìng)且均勻性(xìng)這個概念本(běn)身(shēn)也會隨著鍍(dù)膜尺度和薄膜成(chéng)分而有著不同的意義,下(xià)麵分別說(shuō)一下:

均(jun1)勻性主要體(tǐ)現(xiàn)在(zài)3方麵(miàn):

1、厚度(dù)上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學(xué)薄膜的尺度(dù)上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空(kōng)鍍膜的均(jun1)勻性已經相當好,可以輕(qīng)鬆將粗糙度控製在可見光波(bō)長的1/10範圍內(nèi),也就是說對於多弧離子鍍(dù)膜機的光學特性來說,真空鍍膜沒有任(rèn)何障礙。但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就(jiù)是說要實現(xiàn)10A甚至1A的表(biǎo)麵平整,是現在真空鍍(dù)膜中主要的技術含量與(yǔ)技術瓶頸所在。
2、化學組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會(huì)由(yóu)於尺度過小而很容易的(de)產生不均(jun1)勻特性,SiTiO3薄(báo)膜,如果濺控濺射鍍膜機過(guò)程不科學,那(nà)麽實際表麵的組(zǔ)分並不是SiTiO3,而可能是其他的比例(lì),鍍的膜並非是想要的膜的化學成分,這也是真(zhēn)空鍍膜的技術含量所在。
3、晶(jīng)格有序(xù)度的均勻性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術中的(de)熱點(diǎn)問題。 
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